日期:2013-06-04 14:48
惊讶的是，下列的情况被发现：即如果阴极组件带有带有可转动的、曲形的革巴，特别是革巴为圆柱形管状，多个阴极，特别是至少为3个、优选为4、5、6个或更多的阴极，可以彼lo此并排地设置，以产生一个大面积的镀膜区域，在该区域内通过使用在曲形靶表面溅射的专门的方法，能够实现均匀的镀膜，特别是均匀且厚度一致的镀膜，而不必大量消耗镀膜材料。这一优势主要归因于曲形的乾表面;根据优选实施例，通过构造阴极本身和将许多阴极彼此相对地组合，使所沉积的大面积镀膜的均勾度得到进一步改善，同时保持材料的低消耗;通L;过这种方式，可使积