日期:2013-06-04 14:50
本发明作进一步详细说明。
【附图说明】
图1是一种多层ITO镀膜板的结构示意图。
【具体实施方式】
实施例一、一种ITO镀膜板，包括玻璃基板1、第一层ITO膜2、银金合金膜3和第二层ITO膜4。第一层ITO膜2沉积在基板表面，银金合金膜沉积在第一层ITO膜上，第二层ITO膜沉积在银金合金膜上。银金合金膜中的银、金重量比为97:3。第一、第二层ITO膜的厚度为45nm，银金合金膜的厚度为15nm。
上述ITO镀膜板的方阻小于15Q/1I1，可见光透过率为80%，可作为优良的平板显示基板。
实施例二、一种IT0镀膜板的制备方法，是采用直流磁控溅射工艺在基板