ITO镀膜板及其制备方法
日期:2013-06-04 14:50
样的方法：将水盛在密闭钢瓶中，然后将其蒸汽通过布气管道引入真空室，并通过针阀调节其流量。
在沉积合金膜时，采用银金合金作为靶，采用氩气作为工作气体，沉积厚度控制在10～20nm。
在沉积过程中，通过基片装夹装置中的冷却系统将基板温度控制在150C以下。

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