日期:2013-06-04 14:50
O膜，所述合金膜沉积在第一层ITO膜上，所述第二层ITO膜沉积在合金膜上。本发明还公开制备上述ITO镀膜板的方法。本发明的有益效果在于：用ITO/合金/ITO的多层结构，利用合金优良的导电性，可以获得很低的方阻;并且由于将ITO膜分为两层进行沉积，避免厚度增大出现的晶粒生长或形成柱形结构，保证了薄膜表面的低粗糙度。
1、一种ITO镀膜板，包括基板和沉积在基板表面的第一层ITO膜，其特征在于：还包括合金膜和第二层ITO膜，所述合金膜沉积在第一层ITO膜上，所述第二层ITO膜沉积在合金膜上。
2、根据权利要求1所述的ITO镀膜板，其特征在于