日期:2013-06-04 14:50
电源由脉冲电源串联直流电源构成，脉冲频率为20～100kHz。
6、根据权利要求4所述的ITO镀膜板的制备方法，其特征在于：在沉积IT0膜时，采用氧化铟锡陶瓷作为靶，其中ln203与Sn02的重量比为90:10;采用氩氧混合气作为工作气体，其中氧气体积占2～5%。
7、根据权利要求4所述的IT0镀膜板的制备方法，其特征在于：在沉积合金膜时，采用银金合金作为靶，采用氩气作为工作气体，沉积厚度控制在10～20nm。
8、根据权利要求4～7任意一项所述的ITO镀膜板的制备方法，其特征在于：在沉积IT0膜时，通入工作气体前还在本底真空中通入水蒸汽。
9、根据