日期:2013-07-15 15:00
光接收器(17)，使得光发射器(12)的光能穿过狭 缝(3)照射到光接收器(17)上。
2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，光发射器(12)设在衬底(4)的前面，光接收器(17)设在衬底(4)的后面。
3.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，光发射器(12) 和光接收器(17)能沿Y方向同步移动。
4.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，提供有数据存储器，用于将测量的光学值与其相关联的空间坐标一起存储在其中。
5.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，光发射器(12) 包括光接收器，用于接收被衬底(4)的镀层所反射的光。
6.如权利要求1所