日期:2013-07-15 15:00
所述的测量装置，其特征在于，电阻测量仪器(13) 设置成与光发射器(12)间隔有特定的距离。
7.如权利要求6所述的测量装置，其特征在于，电阻测量仪器(13)是四点法电阻测量仪器。
8.如权利要求7所述的测量装置，其特征在于，四点法电阻测量仪 器可沿Z方向移动。
9.如权利要求6所述的测量装置，其特征在于，提供有数据存储器，用于将测量的电阻值与其相关联的空间坐标一起存储在其中。
10.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，提供有传输装置 (5-9)用子传输板状衬底(4)，衬底(4)的一个侧边靠在该传输装置上。
11.如权利要求1所述的测