日期:2013-07-15 15:00
璃板和测量仪器一起的支撑板
图1描述的装置1用于测量衬底上镀层的参数或性质。该装置1 包括支撑板2,其中设有竖直的狭缝3。在支撑板2的前面设置着有镀层的玻璃板4，其坐放在滚筒5-9上，这些滚筒与竖直方向所成夹角在48-108之间。这里，在玻璃板4背离支撑板2的那一侧面上有镀 层，该镀层是采用诸如溅射工艺等方法沉积的。空气通过喷嘴(图1 中未示)流进玻璃板4与支撑板2之间的间隙，使得玻璃板靠在空气 气垫上。对这一连接的进一步细节描述见PCT申请PCT/EP 0 04/0023 3 3 =滚筒5-9利用马达(图1中未示)沿顺时针或逆时针方向进行同 步旋转。通