日期:2013-07-15 15:00
收光的测量仪器，且在图1中并未显示，然而，该测量仪器直接设在狭缝3附近，就如光学测量仪器12样。
玻璃板4的传输有三个阶段：首先，在支撑板2和玻璃板4之间 产生所述的空气气垫。随后，滚筒5-9进行旋转，由于滚筒5-9与玻璃板4的下缘之间的摩擦力，从而使得玻璃板4沿着X方向移动。当玻璃板4到达指定的测量位置以后，空气被切断，空气气垫又瓦解了。
在测量过程中，电阻测量头13接触在镀层上。为了进行下一个 测量过程，则该测量头必须从镀层上移开。因此，如果要顺序进行几次测量，则电阻测量头13要沿着Z方向完成前后往返的移动。
图