蒸发镀膜机介绍
日期:2018-01-13 14:51
目前经常采用的运动方式。
排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。为了提高抽气速率，可在机械泵和扩散泵之间加机械增压泵。因此，排气系统既要求在较短的时间内获得低气压以保证快速的工作循环，也要求确保在蒸气镀膜时迅速排除从蒸发源和工作物表面所产生的气体。
蒸发系统包括蒸发源和加热蒸发源的电气设备。电气设备包括测量真空和膜层厚度及控制台等。

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