日期:2018-01-13 14:54
通常对蒸发源应考虑蒸发源的材料和形状，一般对蒸发源材料的要求是：
(1)熔点高。因为蒸发材料的蒸发温度(平衡蒸汽压为1.3Pa的温度)多数在1000~2000℃之间，因此，蒸发源材料的熔点应高于此温度。
(2)平衡蒸汽压低。这主要是防止或减少高温下蒸发源材料随蒸发材料蒸发而成为杂质，进入蒸镀膜层中。只有在蒸发源材料的平衡气压足够低时，才能保证在蒸发时具有最小的自蒸发量，才不致影响系统真空度和污染膜层，为了使蒸发源材料所蒸发的数量非常少，在选择蒸发温度、蒸发源材料时，应使材料的蒸发温度低于蒸发源材料在平衡气压为1.310-6P