日期:2018-01-13 14:54
a时的制备高质量的薄膜可采用与1.310-3Pa所对应的温度。
(3)化学性能稳定，在高温下不应与蒸发材料发生化学反应。在高温下某些蒸发源材料，与蒸发材料之间会产生反应及扩散而形成化合物和合金。特别是形成低共熔点合金蒸发源容易烧断。例如在高温时钽和金会形成合金，铝、铁、镍、钴也会与钨、钼、钽等蒸发源材料形成合金。钨还能与水或氧发生反应，形成挥发性的氧化物如WO、WO2或WO3 ;钼也能与水或氧反应而形成挥发性MoO3等。因此，应选择不会与镀膜材料发生反应或形成合金的材料做该材料的蒸发源材料。
作为蒸发源的材料必须具备熔点高