日期:2018-01-13 15:34
放气量小;材料来源广，价格低廉，具有相应的蒸发源。
不同的蒸发材料，需选用相应的蒸发源和蒸发镀方式。
(3)真空室和镀件夹具的清洗：
有内罩的真空室污染，可取下罩清洗或更新，若无内罩可用碳酸钙擦拭，再水擦，最后用无水乙醇擦净。
常用的铝夹具可先用20%NaOH液浸泡至表面呈褐色，再用流水冲洗净，用HNO3浸至褐色消失，再水洗烘干。
(4)安装蒸发源：
注意戴脱脂手套，工具要事前脱脂。特别注意蒸发源与电极良好接触。
(5)放置镀件：
应平稳牢固放置在镀件地和镀件夹上，以防蒸发时因夹具旋转而将镀件抛离夹具，需戴脱脂手套，