日期:2018-01-13 15:34
，不得讲话，保持镀件夹具清洁。
2.抽真空步骤
打开冷却水阀，调节到所需水压，接通总电源，关闭通往真空室的大气阀门，关好管道阀门，启动机械泵电源，打开预真空阀。此时机械泵对真空室抽气， 后进行离子轰击，接通扩散泵加热电源，关闭预真空阀门，待扩散泵达到工作要求时，关闭真空阀门，打开管道阀门，打开高真空阀门，此时，扩散泵、机械泵对真空室进行抽气，当真空度达到一定数值后进行烘烤、预熔和蒸发。
3.离子轰击
辉光放电时，离子轰击电子获得很高的速度，在镀件周围因电子较大的迁移率而迅速带有负电荷，在负电荷吸引力的