日期:2018-01-13 15:34
作用下，正离子轰击镀件表面，镀件表面有能量交换，在镀件吸附层和活性气体之间发生化学反应，达到清洁表面的效果。
离子轰击的条件是剩余气体压力稳定在0.13~13Pa，电压为1.5~10kV，时间为5~60min。
4.烘烤
可加速镀件或夹具吸附的气体迅速逸出，有利于提高真空度和膜层结合力，烘烤时需注意，对于非金属烘烤温度要低于镀件的热变形温度20~30℃，对金属烘烤一般不超过200℃。
5.预熔
可除去蒸发材料中低熔点杂质和蒸发源及蒸发材料中吸附的气体，有利于蒸发的顺利进行，预熔的真空度一般为6.610-3Pa，时间以完全熔化为止，对吸湿性大