日期:2018-01-13 15:58
溅射镀膜的原理是基于以下的几个方面：
溅射是指当有足够能量的带电粒子或中性粒子碰撞体表面时，可把能量传递给表面的原子，只要表面原子获得的能量大于本身的电离能，就能摆脱周围原子的束缚而离开物体表面，这种现象称为溅射。
辉光放电则是在气压为几百帕的真空中，在两个电极之间加上高压时产生的放电现象。
当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极间加上一定的电压，气体发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳板或真空室的壁上，这种溅射称阴极溅射。
阴极溅射放电回路，是靠气体放电产生的正离子向阴极运动和