日期:2018-01-13 15:58
一次电子向阳极运动形成的。放电是靠正离子撞击阴极产生二次电子。通过克鲁克斯暗区被加速，以补充一次电子的消耗来维持，因此，外部电路中测得的放电电流是轰击靶的正离子流和阴极发射的二次电子流之和。
阴极溅射的主要缺点是沉积速率低，镀件温升。
磁控溅射是一种异常阴极辉光低压等离子体放电，磁控溅射源是利用磁控管原理(即磁场与电场正交，磁场方向与阴极表面平行)制成的溅射源。
磁控溅射源的放电是通过气体电离产生的正离子在阴极电位吸引下，在克鲁克斯暗区被加速，以几百电子伏特的能量撞击阴极从阳极获得电子成为中性原子