溅射镀膜原理
日期:2018-01-13 15:58
反射出来，与此同时溅射出阴极靶原子，飞向镀件堆集成膜，从阴极打出的二次电子，穿过克鲁克斯暗区，受电场加速而获得能量，进入等离子体成为一次电子，一次电子在正交的电磁场中，运动方向与电场、磁场垂直，呈圆滚线运动轨迹，增加了同气体分子的碰撞，提高了电离的几率，这样经多次反复碰撞，耗尽了能量的一次电子成为最终电子进入阳极，形成放电电流，因此，磁控溅射与阴极溅射除了一次电子的运动轨迹不同外，其他放电机理基本相同。

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