日期:2018-01-13 16:01
膜层质量关键是指膜层的应力、膜层厚度的均匀性和膜层的反射率等。
1.影响膜层应力的因素
不同的材料有不同的热膨胀系数，膜层材料与镀件的热膨胀系数相差越小，膜层因温度变化产生的应力就越小，金属或合金的韧性愈好，则沉积膜层的应力愈小。
膜层的应力随真空度的提高而降低，当溅射时氩气的分压低于0.13Pa时，膜层一般不会产生应力。
溅射粒子与镀件的入射角度小于15，不会产生应力裂纹，大于15后，膜层应力裂纹随角度的增大而增加。
镀件加热是产生应力裂纹的主要原因之一，因此，镀件的温度一般控制在产生裂纹的临界温度以下。