影响膜层质量的各种因素
日期:2018-01-13 16:01
溅射速率关系不同，应通过试验确定最佳溅射速率。
镀件表面粗糙度愈低，则膜层反射率愈大，反之亦然。
膜层的反射率随膜厚的增加而降低，对不同的金属材料，其影响程度也不一样。
一般膜层的反射率随氩气压力的增加而急剧下降，因此，氩气分压应控制在0.40~0.53Pa范围内。

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