日期:2018-01-14 15:27
材是在压强较高(1Pa)情况下被电离，气体分子的平均自由程小于源基之间距离，所以离子或分子在到达基片的路程中将和惰性气体分子、电子及蒸气原子之间发生多次碰撞，产生非定向的气体散射，使膜材粒子散射在整个工件的表面上。
3.可镀材质范围广
利用离子镀技术可在金属或非金属表面涂覆不同性能的单一镀层和各种复合镀层，用不同的镀料、不同的放电气体和不同的工艺参数，可获得表面强化的耐磨镀层、表面致密的耐蚀镀层、润滑镀层、各种颜色的装饰镀层与电子学、光学、能源科学所需的特殊功能镀层。
4.沉积速率快
离子镀的沉积速率通常