影响离子镀膜质量的几个因素
日期:2018-01-14 15:38
，硬度接近2000HV，随着镀件温度的提高，膜层硬度增加。
4.加速电压对膜层应力的影响
如TiC膜中应力和加速电压的关系。加速电压为零时，应力最小，但随着加速电压的升高，膜层应力降低。

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