日期:2018-01-14 16:05
、绝缘体等，这类反应体系的主要问题是对源物质与热分解温度的选择。在选择源物质时，既要考虑其蒸气压与温度的关系，又要注意在不同热分解温度下的分解产物，能保证固相仅仅为所需要的沉积物质，而没有其他夹杂物。
2.化学合成法
绝大多数沉积过程都涉及到两种或多种气态反应物在一热衬底上相互反应，这类反应称为化学合成反应，其中也用氢气还原卤化物来沉积各种金属和半导体以及选用合适的氢化物、卤化物或金属有机化合物来沉积绝缘膜。
与热分解法比较，化学合成法的应用更广泛。除了制备各种单晶薄膜外，还可制备多晶态和玻璃态的