日期:2018-01-14 17:04
镀层质量主要表现在化学组成纯度、晶体结构完整性和物理化学性能等。
1.反应混合物分压比的影响
反应混合物分压比是决定镀层质量重要原因之一。气相镀的必要条件是要有一定的气相过饱和度。气相物种的分压决定着固相的成核和生长，从而决定了沉积速度和材料的结构状况，通常，反应物分压过大，是由于表面反应和成核过快而损害结构的完整性，甚至导致多晶沉积;分压过小则成核密度太小，也不容易得到均匀的外延层。在沉积化合物时，各反应物分压间的相互比例特别重要，它直接决定着沉积物的组成。
2.沉积温度的影响
沉积温度是最主要的工