日期:2018-01-14 17:04
艺条件之一，对于同一反应体系，不同的温度下，形成的镀层可以是单晶、多晶、无定形物，甚至不形成镀层。一般提高沉积温度，可导致表面控制向质量转移控制转化，有益于改善外延层的单晶性和表面形貌。但温度太高会降低生长速度，加重来自反应器材料的杂质污染，而且，沉积温度会影响气相过饱和度和沉积出固相的相对活性，进而影响镀层的化学组成。
3.衬底材料的影响
衬底是影响镀层质量的关键因素，因此，选择什么材料作衬底是外延生长的重要问题。在不同材料的衬底上得到的镀层质量可以相差很远，选择异质外延衬底材料时应注意，在沉积