日期:2018-01-14 17:04
温度下，不发生热分解，不易受反应气氛的浸蚀，衬底的晶格类型、晶格常数和热膨胀系数应尽可能与外延材料相近，热导性能好，可抗热冲击，易进行切、磨、抛和化学清洗。
衬底的晶面取向会影响新原子在上面的成核和生长，须严格控制，在偏离低指数晶面适当角度(2~5)的晶面上进行外延，可以得到质量较好的单晶层。
衬底在外延前，必须经过严格的切、磨、抛处理机械损伤，暴露新的晶体表面，利于成核和生长。
4.系统内总压力和气体总流量的影响
在反应系统中，低压沉积能改善镀层的均匀性与附着性，如压力太低，则沉积速率低;压力太高，则