影响气相镀镀层质量因素有哪些？
日期:2018-01-14 17:04
镀层粗糙，附着性差。
反应系统中，气体总流量决定了反应过程的控制步骤。一般提高气体总流量会使反应过程由质量转移控制向表面控制转化，使生长速率显著提高。
5.反应装置的影响
由于氧、水等在高温下会给反应活性层带来不良的影响，所以要求反应装置密封性好，尽量减少阀门和反应管道的接头，最好采用硬接方式连接。
反应管结构的设计应合理，它会影响沉积速率和镀层的均匀性。
6.原材料纯度的影响
镀层质量与原材料(包括载气)的纯度关系极大，因此必须采用高纯度的原材料。

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