日期:2019-12-20 08:58
为采用电镀MEMS技术制造的金属部件照片，图14为MEMS模块中微小的机械部件照片,图15为采用MEMS技术制造的纳米泵技术,图16为EPSON公司采用MEMS技术制造的微型飞行器,图17为采用MEMS技术制造的可移动微型机器人。
4零部件及设备再制造中电镀技术的应用
零部件的失效表现在其尺寸偏离设计值。零部件失效导致设备不能正常运行，甚至报废。再制造的意义，在于对零部件实施再制造后，不仅零部件的尺寸恢复到最初设计值，而且失效设备的寿命超过新品。再制造技术是实现节约型社会、循环经济的需要。由于电镀技术易于实现材料的定点、