日期:2019-12-20 10:03
结合力不好造成的,干膜耐不住除油剂等药水攻击或干膜与铜面结合不够,镀层延伸到干膜下面,经蚀刻而导致线路狗牙。
图形转移工艺包括前处理、贴干膜、干膜曝光、显影,此工序造成线路狗牙的原因比较复杂。
一方面,前处理不当、贴膜压力过小、速度过快以及贴膜温度过低,会造成干膜与铜面的结合力不够,局部出现间隙,电镀时镀层延伸到间隙处经蚀刻而造成线路狗牙;
另一方面,曝光能量不足会使线路侧壁未完全交联化,显影时造成侧壁凹凸不平,经电镀、蚀刻产生线路狗牙;
再者,显影时显影不足或显影过度均会造成线路侧壁不平,从而造