日期:2011-03-16 00:00
成套工艺》国家科技重大专项是我国《国家中长期科学和技术发展规划纲要》16个科技重大专项中的02专项，该专项旨在开发极大规模集成电路关键制造装备，掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术，打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的现状，带动相关产业的技术提升和结构调整。据统计，“十一五”期间，国家为该专项投入资金超过80亿元，已启动58项，其中装备整机15项，成套工艺11项，关键技术与零部件12项，关键材料13项，前瞻性研究7项。全国有18个省、29个市的133家单位参与。目前，“02专项”累计申请专利4200