日期:2006-07-27 00:00
NovellusSystems(诺发系统)日前推出SABRE电镀填充系统系列产品中的最新产品SABREExtreme。新平台提供了经过改善的化学溶液、电镀工艺和新的硬件功能，以解决向32nm技术节点转变过程中出现的复杂问题。经验证，它的灵活性能适应多代产品的要求。现在，新系统正被一家美国逻辑器件制造商用于45nm工艺的开发，同时也被一家美国DRAM制造商所采用。据该公司称，SABRE是半导体行业能够满足生产要求的第一套铜电镀填充系统。2005年SABRE所占市场份额为80%，在前10大铜工艺IC制造商中有9家采用SABRE作为铜电镀工艺设备。目前，SABRE的全球装机量已