日期:2006-07-27 00:00
超过250套，每年可以加工处理5,500万片次以上的晶圆。在诺发公司向后兼容策略的支持下，在向45nm和32nm转变的过程中制造商可以继续利用已有的设备。SABREExtreme可以提供80片晶圆/小时的生产速度，同时在大批量生产条件下继续保持90%以上的可正常工作时间。SABREExtreme采用了很多改善措施以满足45nm和32nm大批量生产的要求。据介绍，SABREExtreme采用了电镀化学溶液ViaformExtreme。ViaformExtreme是为45nm和32nm节点小尺寸和高纵宽比特征结构提供优异填充能力的关键。ViaformExtreme是诺发公司和ATMI/Enthone采用排它性模式合作开发的成