日期:2006-07-27 00:00
果，通过它可以得到高度可靠的铜薄膜，只有SABRE的客户可以使用这一产品。在供应商的帮助下，一直以来客户对诺发公司在这一领域的领先地位给予了充分的肯定和正面的反馈。Extreme电镀槽采用了最新的隔膜技术以改善电镀性能和降低耗材成本(降幅大约为50%)。该电镀槽采用了一些经过以前几代设计开发和验证的特有功能，可以通过程序控制晶圆边缘的薄膜结构，以适应化学机械平坦化(CMP)的要求。Extreme采用了密封接触式设计，边缘去除尺寸仅为1mm，晶圆可利用面积提高了1%以上，从而可以额外增加每片晶圆的成品率。通过程序控制晶圆边缘快速去