诺发铜电镀填充系统 向32nm工艺迈进
日期:2006-07-27 00:00
除(EBR)工艺。EBR处理速度的加快提高了生产速度。其中，特别是晶圆代工客户可以从程序控制晶圆边缘去除功能提供的灵活性中受益。

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