日期:2012-04-17 09:59
曾海军
（山东天诺光电材料有限公司，山东济南250300）
摘要：对铝箔表面进行等离子体清洗并磁控溅射镍铜合金中间层后再电镀，得到了致密、结合力好的铜、锡电镀层。讨论了等离子清洗时的电压、磁控溅射时的负偏压及中间层的合金组成对后续镀层结合力的影响。指出了电镀铜时的电源波形及电镀锡时的温度对镀层性能的影响。采用该工艺制备的覆铜铝箔，其成本仅为普通铜箔的1/4，弱酸性镀锡后镀层的可焊性良好。
关键词：铝箔；等离子清洗；磁控溅射；铜；锡；电镀；结合力
中图分类号：TG174.444;TQ153.1文献标志码：A
文章编号：1004C