日期:2012-04-17 09:59
溅射中间层(镍铜合金)─电镀铜/或锡镀层。
2.3工序说明
2.3.1表面清洗
硬质光箔未经软化处理，表面有残油，必须脱脂处理。脱脂采用等离子体清洗，它属于干式工艺，处理后表面无残留物，适合环境保护的需要。该处理不影响基体固有的性能，而且作用时间短，效率高，过程易控制。工艺参数为：放电真空度33 Pa，加载气体为Ar、O2等，处理功率150 W，时间1~3 min。
2.3.2磁控溅射中间层操作条件为：基础真空度5.5×10-3Pa，溅射气压0.12~0.20 Pa，靶与基片的距离60~100 mm，溅射功率100 W，靶直径60 mm，直流负偏压60 V。
2.3.3电镀铜
镀