日期:2012-04-18 09:33
3.电流效率
图2a、b、c、d分别为不同pH、温度、铜离子质量浓度和添加剂体积分数对铜沉积电流效率的影响。
图2工艺条件对电流效率的影响
Figure 2 Effects of process parameters on current efficiency
当pH从7.0提高至8.5时,电流效率从81.8%逐渐降低至73.2%,变化幅度较小。温度对沉积电流效率有显著影响:温度从30℃提高至50℃,阴极表面铜离子的传质速度显著增大,电流效率从33.7%迅速提高至97.6%。镀液中铜离子质量浓度的提高也促进了阴极表面铜离子的传质速度,使电流效率提高:镀液中铜离子质量浓度从4 g/L提高至1