日期:2012-04-20 09:59
用材料自有性质在表面氧化形成氧化膜;在材料表面利用一系列理化方法形成氧化物膜、碳化物或氮化物膜。目前涂层的主要制备技术有物理气相沉积法(PVD)、溅射镀膜、离子束辅助沉积、化学气相沉积法(CVD)、热浸铝、电镀等。
1 防氚渗透涂层类型
1.1 氧化物涂层
氧化物涂层是指通过表面直接氧化或者涂层氧化生成的阻挡涂层,这是研究最早的防氚渗透涂层。曾经研究过的氧化物涂层有Cr2O3、Al2O3、Y2O3、SiO2和TiO2等,目前报道的氧化物涂层多为Cr2O3涂层。
单就Cr2O3涂层来讲,从1985年开始对Cr2O3涂层进行过大量研究的日本原子能研究所(JAERI)