日期:2015-04-21 14:54
了Si以外的如Cu，Fe，Mn等低含量元素。
图1 (a) 所分析区域的二次电子图像; (b) 此区域SmartMap面分布时采集的EDS谱;
X-ray SmartMap采集条件如表1所示。由于某些相尺寸相对较小(1um)，因此采用高的面分布分辨率和相对低的电压。
表1 SmartMap采集参数
基于X-ray面分布，计算了AutoPhaseMap图(图2)。从图中可确定存在三个相(两个金属件化合物相)，同时也有区域未有相标示。对该区域进行谱重构可确认该区域存在元素Sr。因为电压较低，Sr元素的L线系与含量更高的Si元素K线系重叠，在面分布时未被标识。
图2 主要元素X-ray面分布