日期:2016-04-01 11:20
2016年3月15日，半导体技术大会(SEMICON China)在上海新国际博览中心开幕，牛津仪器在展会上展示了纳米制造分析工具解决方案。
牛津仪器SEMICON China展台
牛津仪器半导体设备部中国区经理陈世伟(中)与团队合影
牛津仪器纳米制造和分析工具主要包括等离子体和离子束刻蚀系统，化学气相沉积、电感耦合式等离子体化学气相沉积、等离子体化学气相沉积技术运用于纳米级生长，面向光电子、传感器、离散型器件和纳米技术等市场领域。
牛津仪器半导体设备部中国区经理陈世伟介绍道：牛津仪器在半导体设备是用于生长刻蚀技术，