日期:2012-04-20 09:59
值较为敏感,pH值需要保持在6.5~8之间,否则会发生沉淀。为此,一些厂家专门设计制作了pH自动测试和调整系统,利用特殊玻璃电极测试镀液的pH值,然后由PLC控制计量泵向电镀液中自动补充磷酸或者氨水,将镀液的pH值稳定控制在工艺范围内,大大增加了镀液的使用寿命,减少了溶液处理过程中贵金属的消耗,同时也减少了其他化学物质的排放。
3.2.6改善镀层厚度均匀性
晶圆上的铜导线和凸点都有最低厚度要求,以保证优良的导电性能。但实际情况是晶圆中间的镀层厚度最薄,往往需要将四周的镀层加很厚才能保证中间的镀层厚度。因此,在阴阳极中间增加一个电