日期:2012-04-20 09:59
力线挡板,以调节晶圆表面的电流分布,改善厚度均匀性。这样做提高了金属材料的利用率,缩短了电镀时间,节约了能源。电力线挡板一般开孔直径约为晶圆直径的2/3。
3.2.7其他
在电镀过程中采取的清洁生产措施还包括:镀槽边放置回收烧杯,晶圆在冲洗前先在杯中浸泡,电镀完后将回收溶液补充到镀液中;将节能、降污等理念写进工艺规范、管理文件等质量体系文件。
3.3电镀三废处理
电镀过程会产生大量的废水废液和废渣,对于含金的废液和废渣以及废旧产品,一般可以用亚硫酸盐还原法进行回收利用;其他的全部收集起来,交由专业环保公司处理。电镀过程