搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱反渗透设备电去离子（EDI）纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点
三种制备电子工业用超纯水的工艺比较http://www.dwhbscl.com/
目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：
1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行