量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm，以区分不同水质。
电子工业用超纯水设备的工艺流程
电子工业用超纯水设备的工艺大致分成以下几种：
1、电子工业用超纯水设备采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱阳床阴床混床(复床)纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点
2、电子工业用超纯水设备采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行