组合的方式，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱反渗透设备混床(复床)纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点
3、电子工业用超纯水设备采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器原水箱反渗透设备电去离子(EDI)纯水箱
目前电子工业用超纯水设备制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将