日期:2011-11-21 11:00
蚀刻速率。氮化硅可利用加热至180C的磷酸溶液(85%)来进行蚀刻。铝或铝合金的湿蚀刻主要是利用磷酸、硝酸、醋酸及水的混合溶液加以进行。如因特尔公司就使用SANDA公司的温度滴定分析蚀刻液中的强酸。
3.阳极氧化
铝及其合金的阳极氧化工艺包括微弧氧化、硬质氧化等，微弧氧化电解液是获到合格膜层的技术关键。不同的电解液成分及氧化工艺参数，所得膜层的性质也不同。微弧氧化电解液多采用含有一定金属或非金属氧化物碱性盐溶液(如硅酸盐、磷酸盐、硼酸盐等)，溶液的pH范围一般在9～13之间。根据膜层性质的需要，可添加一些有机或无机盐类