日期:2014-02-24 10:14
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真空蒸镀是将工件装入电镀机内，然后将室内空气抽走，达到一定的真空度后，将室内的钨丝通电加热。当达到一定的温度后，钨丝上所放置的金属丝气化，然后随着室内的工件的转动均匀的沉积在工件表面，形成金属膜。一般常见的电镀用金属有铝、镍、铜等等。但由于熔点，工艺控制等方面的原因，镀铝成为最流行的做法。
真空溅镀主要利用辉光防电将氩气AR离子撞击靶材表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表