日期:2011-11-23 09:36
【作者】［德］W.Menz J．Mohr O.Paul 付建军 等审
【出版单位】化学工业出版社
【出版日期】2003-9-1
【定价】￥38 元
【图书简介】
本书是德国WILEYVCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本，讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章，前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等；5～１０章为本书核心，详细介绍微系统技术的基本工艺方法，包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。
【图书目录】
第1章微结构技术概