日期:2011-11-23 09:36
74光学用途的LIGA结构354
第8章其他微结构加工方法366
81机械微加工366
811生产过程和主要结构366
812应用实例370
82放电加工（EDM）377
821放电加工基础377
822EDM在微系统中的应用379
83激光微加工380
第9章封装和互连技术(PIT)385
91混合技术385
911基底和膏剂386
912层的生产388
913电路元件的安放和焊接390
914硅管芯的装配和连接393
92引线连接技术394
921热压缩引线连接法(热压焊接连接法)394
922超声波引线连接法（超声波焊接法）395
923热声波引线连