日期:2011-11-23 09:36
述1
11什么是微结构技术1
12从微结构技术到微系统技术9
第2章微电子技术相关知识介绍13
21单晶硅片的生产13
211单晶硅的生产15
212GaAs单晶的生产21
22基本工艺过程23
221薄膜沉积24
222光刻（薄膜图形化）26
223表面改性28
224 蚀刻（薄膜去除）31
23封装技术32
231对封装技术的要求32
232混合技术33
24洁净室技术35
第3章微系统技术的物理和化学基础41
31晶体和晶体学41
311晶格和晶格类型42
312极射赤面投影44
313单晶硅47
314倒易晶格和晶体结构